賽奧特（SAT)等離子刻蝕

賽奧特（SAT)等離子刻蝕   SAT 510

一 應用領域  

賽奧特（SAT)等離子刻蝕適用于材料科學、光學、光電子學、生命科學、電子學、生物醫學、半導體、高分子科學、微觀流體學等領域.

二 主要實驗應用  

1.表面清潔 2.表面活化 3.鍵合 4.去膠 5.金屬還原 6.簡單刻蝕 7.去除表面有機物  8.疏水實驗  9.沉積實驗  10.形成新的基團  11.鍍膜前處理等

三 技術特點  

※1.實時檢測和顯示真空度,使得設備在智能控制下有了可靠的依據.

※2.真空值可自由設定,(范圍:10—60帕)為外加氣體提供了可靠的輝光啟動環境,為輝光純度提供了有利的保障,保證了實驗效果的準確性和可靠性.

3.真空腔體采用鉸鏈側開門結構，帶有觀察窗，材料為6061材質.

4.腔體、管路、閥體全部為不銹鋼材料.

※5.電容式（CCP）激發,實驗效果穩定,均勻可靠,電極板置于樣品倉內頂部懸掛.

6.采用觸摸屏顯示控制，手動，自動兩種模式任意切換.

7.程序化設計，預先編輯好程序，儀器自動完成實驗.

8.利用氣體電離后產生的等離子體的反應活性與材料表面發生的物理或者化學反應，使材料表面成分、組成和結構發生變化，并能得到某些特定的基團。

9.無需耗材,使用成本低,無需特殊進行維護,在日常使用中保持儀器清潔即可。

四 技術規格  

1.樣品腔體尺寸：255(深度)X155（直徑）mm ，不銹鋼材質.

2.放置樣品托盤尺寸:150(寬)X230（長）mm，材質：6061鋁氧化本色

※3.射頻頻率：40KHz  

※4.射頻功率:300W，0到300W可調，精度：1瓦.

※5.輝光放電功率：10W----300W

6.輝光放電時間設定：1秒到99分59秒.

※7.氣路設置:3氣路（2路進氣，一路放空）.

※8.工作氣體穩定時間:可調，可設定，范圍：0--180秒.

※9.進氣控制：兩路浮子流量計控制.

10.工作氣體:空氣\氮氣\氬氣\氮氫混合氣\氬氦混合氣等均可; 也可接入無腐蝕性、無毒的工作液體溶液，例如:六甲基二硅氧烷(HMDSO)，接入工作液體需要選配接枝儀來配套使用。

11.進氣壓力：通入空氣時常壓，接入鋼瓶時，鋼瓶進氣壓力調整到0.1-0.2Mpa

12.供電電源：~220V／50Hz

13.外形尺寸（寬*深*高）mm:440ⅹ490ⅹ485

14.整機重量（約）：25Kg

五 真空泵

標準配置為機械油泵：1）抽速:2升/秒 2）極限壓強：6*10-2帕   3）噪音;≤66db 4）抽氣KF16法蘭接口，排氣口KF25接口 5）電源線為陰插線

六 基本配置  

主機+真空系統（雙極機械真空油泵、油霧過濾器、真空管、KF16法蘭）、外加氣體軟管、樣品托盤、說明書、電源線、合格證

七選配件

（一）機械油泵   型號：VRD-8  

1.抽速:2.2升/秒  2.極限壓強：≤5*10-2帕  3.噪音;≤56db   4.工作環境溫度：5—45

（二）干泵（1）  型號：GWSP150

1.抽速:2升/秒  2.極限壓強：≤6帕    3.噪音;≤57db    

4.工作環境溫度：5--45℃  

    干泵（2）型號： SPH10

1.抽速:2.8升/秒 2.極限壓強：≤2帕  3.噪音;≤55db

4.工作環境溫度：5--45℃